Metoda odparowania wiązką elektronów jest rodzajem powlekania przez odparowanie próżniowe, które wykorzystuje wiązki elektronów do bezpośredniego podgrzewania materiału odparowanego w warunkach próżni, odparowywania materiału odparowanego i transportu go na podłoże oraz kondensacji na podłożu w celu utworzenia cienkiej warstwy. W urządzeniu grzewczym wiązką elektronów ogrzaną substancję umieszcza się w tyglu chłodzonym wodą, co pozwala uniknąć reakcji między materiałem odparowanym a ścianą tygla i wpływa na jakość folii. W urządzeniu można umieścić wiele tygli, aby uzyskać jednoczesne lub oddzielne odparowanie i osadzenie różnych substancji. Dzięki odparowaniu wiązką elektronów można odparować dowolny materiał.
Odparowanie wiązką elektronów może odparować materiały o wysokiej temperaturze topnienia. W porównaniu z ogólnym parowaniem oporowym, ma wyższą sprawność cieplną, większą gęstość prądu wiązki i większą prędkość parowania. Folia i folia z różnych materiałów optycznych, takich jak szkło przewodzące.
Cechą charakterystyczną parowania wiązki elektronów jest to, że nie pokrywa ona lub rzadko pokrywa dwie strony docelowej trójwymiarowej struktury i zwykle osadza się jedynie na powierzchni docelowej. Na tym polega różnica między parowaniem wiązki elektronów a rozpylaniem.
Odparowanie wiązką elektronów jest powszechnie stosowane w badaniach nad półprzewodnikami i przemyśle. Energia przyspieszonych elektronów jest wykorzystywana do uderzenia w cel materialny, powodując jego odparowanie i uniesienie się. Ostatecznie osadzony na celu.
Czas publikacji: 02 grudnia 2022 r