Metalowy cel obrotowy
Między tarczą rozpylającą (katodą) a anodą przykładane są ortogonalne pola magnetyczne i elektryczne.I napełnij wymagany gaz obojętny (zwykle gaz argonowy) w komorze wysokiej próżni.Pod działaniem pola elektrycznego gaz Ar jest jonizowany do dodatnich jonów i elektronów.Do celu przykładane jest pewne ujemne wysokie napięcie, pole magnetyczne wpływa na elektrony emitowane przez cel, prawdopodobieństwo jonizacji gazu roboczego wzrasta, w pobliżu katody powstaje plazma o dużej gęstości, a jony Ar są dotknięte przez siłę Lorentza.Następnie przyspiesz, aby polecieć na powierzchnię docelową i zbombarduj powierzchnię docelową z dużą prędkością, aby rozpylone atomy na celu postępowały zgodnie z zasadą konwersji pędu, przeleciały z powierzchni docelowej na podłoże i osadziły film o wysokiej energii kinetycznej.
Aby jeszcze bardziej poprawić stopień wykorzystania materiału docelowego, zaprojektowano obracającą się katodę o wyższej wydajności użytkowania, a do napylania stosuje się rurowy materiał docelowy.Udoskonalenie sprzętu do napylania wymaga zmiany celu z płaskiego na rurowy, a stopień wykorzystania cylindrycznego obrotowego celu może sięgać nawet 70%, co w dużej mierze rozwiązuje problem niskiego wykorzystania płaskiego celu.
Nazwa produktów | Metalowy cel obrotowy |
Materiał | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Rozmiar gorącej sprzedaży | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Może być również przetwarzany zgodnie ze specyficznymi wymaganiami klientów |
Minimalne zamówienie | 3 kawałki |
Pakiet | Sklejka drewniana |
Aplikacja
Powlekanie przez napylanie to nowy rodzaj fizycznej metody powlekania parą.W porównaniu z metodą powlekania przez odparowanie ma oczywiste zalety.
w wielu aspektach.Metalowe cele rozpylania były stosowane w wielu dziedzinach.Główne zastosowanie obrotowego celu.
■Ogniwa słoneczne
■Szkło architektoniczne
■Szkło samochodowe
■półprzewodnikowy
■Telewizor z płaskim ekranem itp
Szczegóły zamówienia
Zapytania i zamówienia powinny zawierać następujące informacje:
☑Specyfikacja celu ID×OD×L (mm).
☑Wymagana ilosć.
☑Prosimy o kontakt w przypadku bardziej specjalnych potrzeb.